CHINMAX PRODUCT

中茂儀器股份秒速时时彩 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器

表面粗糙度計

產品特色

非接觸式表面輪廓粗度計
  • 再現性:1σ=0.03um(鏡面標準片量測)
  • 雷射光點聚焦:ψ1um(obj.x100)
  • 載物台精度: (2+4L/1000)um
  • 長行程工作範圍 (客製化可)
  • XYZ 載台60x60x130 mm
  • XYZ 解析0.1x0.1x0.01um
  • 內建防震系統、量測數據再現性佳
  • 粗度分析:ISO4278、JIS B0601、ASTM B46.1
  • ISO25178 表面形貌量測
  • 應用:各種元件之表面形貌特性分析,粗度、輪廓、磨耗、CAD比對…等
【詳細說明】
  • 一般用alpha setp方法掃描樣品之表面輪廓多半使用接觸式方式,但是接觸式的方式有樣品限制,例如: 軟質材料易被接觸式觸針刮傷樣品表面,較深或高Pattern樣品無法正確量測到樣品底部輪廓,半球面如micro lens array表面輪廓
  • 本量測儀器掃描step height, 採用ISO認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),唯一高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,優勢在於重複精度高,可量測高深寬材料,透明材料也可以量測可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
  • 產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,隱形眼鏡,油脂...等
  • 點探針式自動聚焦光學量測法掃描式雷射顯微鏡,本試驗法已通過取得ISO25178-6:2010非接觸測定法之點自動聚焦雷射輪廓(PAP) 量測精度高,多數用於精密材料之表面輪廓粗度測試,如導光板,光學鏡,半導體膜厚粗度分析

SJ-310 小型表面粗度計

機型選擇表

機型 SJ-310標準驅動 SJ-310R退避型驅動 SJ-310S橫向驅動
三豐編號 178-571-01A 178-573-01A 178-575-01A
測定力 0.75 mN
固定長度(X軸) 16mm 5.6mm
固定範圍(Z軸) 360µm(-200µm~+160µm)
解析度/測定範圍 0.02 µm / 360 µm, 0.006µm / 100µm, 0.002 µm / 25um
任意測定長 0.3~16 mm (0.01mm 間隔) 0.3~5.6 mm (0.01 mm間隔)
參數值 Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, S, Pc, R3z, mr(c), Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr, sk, ku, Δα, Δq, Wte, Wx, W, AW (共35個參數)
適用規範 JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, ISO' 97, ANSI,VDA
輸出功能 USB/RS-232C/SPC輸出

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